Оборудование

  • Нанотехнологический комплекс  НаноФаб 100

    Нанотехнологический комплекс НаноФаб 100

     

    Нанотехнологические комплексы (НТК) семейства НаноФаб 100 имеют модульную конструкцию и могут быть использованы как для исследовательских целей в различных областях нанотехнологии (микро- и наноэлектроника, нанофотоника, наноматериаловедение и пр.), так и для мелкосерийного производства наноструктур, наноэлементов и наноустройств.

  • Комплекс АСМ/рамановский спектрограф Centaur U HR

    Комплекс АСМ/рамановский спектрограф Centaur U HR

     

    Комплекс, сочетающий сканирующий зондовый микроскоп, конфокальный микроскоп/спектрометр с двойной дисперсией для получения спектров рамановского рассеяния и флюоресценции и спектральных изображений, конфокальный лазерный микроскоп и оптический прямой микроскоп.

  • Многофункциональный рентгеновский комплекс «РИКОР-8»

    Многофункциональный рентгеновский комплекс «РИКОР-8»

     

    «РИКОР-8» предназначен для фазового, структурного, элементного анализа кристаллических, поликристаллических и аморфных образцов. Уникальной особенностью является совмещение в одном приборе возможностей рентгеновского дифрактометра и рентгенофлуоресцентного спектрометра.

  • Лабораторный комплекс для создания элементов наноэлектроники на основе локального анодного окисления

    Лабораторный комплекс для создания элементов наноэлектроники на основе локального анодного окисления

     

    На базе универсального сканирующего зондового микроскопа Солвер-Про (АСМ, СТМ, диаметров образцов до 100мм). Оснащена системой подачи и контроля влажности, средствами in-situ измерения статических электрических характеристик на базе платы Lcard.

  • Магнетронный испаритель металлов Emitech K575X.

    Магнетронный испаритель металлов Emitech K575X.

     

    Напыление ультратонких пленок Au, Pd, Cr, Ti, Ta, Ni и др. на подожки диаметром до 100 мм

  • Вакуумный испаритель углерода  Emitech K950X

    Вакуумный испаритель углерода Emitech K950X

     

    Электродуговое напыление тонких пленок углерода на подожки диаметром до 100 мм

  • Лабораторный комплекс для создания элементов наноэлектроники на основе углеродных нанотрубок

    Лабораторный комплекс для создания элементов наноэлектроники на основе углеродных нанотрубок

     

    На базе универсального сканирующего зондового микроскопа Солвер-P47 (АСМ, СТМ). Оснащена зондовой установкой по измерению статических и динамических электрических характеристик элементов.

  • Лабораторный комплекс для проведения критических измерений

    Лабораторный комплекс для проведения критических измерений

     

    На базе универсального сканирующего зондового микроскопа Солвер-P47Н (АСМ, СТМ). Оснащена усовершенствованной системой акустической, вибрационной и электрической защиты.

  • Лабораторный комплекс для исследования и создания элементов наноэлектроники на различных структурах

    Лабораторный комплекс для исследования и создания элементов наноэлектроники на различных структурах

     

    На базе универсального сканирующего зондового микроскопа Солвер-P47Н (АСМ, СТМ). Оснащена системой активной виброзащиты. Позволяет проводить измерения на пластинах большого диаметра.

  • Класс учебных зондовых микроскопов Nanoeducator

    Класс учебных зондовых микроскопов Nanoeducator

     

    Учебная лаборатория сканирующих зондовых микроскопов для изучения основ нанотехнологии.

  • Установка роста углеродных нанотрубок CVDomna

    Установка роста углеродных нанотрубок CVDomna

     

    Использование технологии химического осаждения из газовой фазы в установке CVDomna позволяет получать углеродные нанотрубки как в виде материала, так и в составе структур микро- и наносистемной техники.

  • Анализатор удельной поверхности СОРБТОМЕТР-М

    Анализатор удельной поверхности СОРБТОМЕТР-М

     

    Предназначен для исследования текстурных характеристик дисперсных и порситых материалов, в том числе нанокомпозитов, катализаторов, сорбентов

  • Установка термогравиметрического анализа STA 449 F3 Jupiter

    Установка термогравиметрического анализа STA 449 F3 Jupiter

     

    Позволяет выполнять измерения изменения массы и тепловых эффектов, при температурах между -150°C и 2400°C