Комплекс, сочетающий сканирующий зондовый микроскоп, конфокальный микроскоп/спектрометр с двойной дисперсией для получения спектров рамановского рассеяния и флюоресценции и спектральных изображений, конфокальный лазерный микроскоп и оптический прямой микроскоп.
Нанотехнологические комплексы (НТК) семейства НаноФаб 100 имеют модульную конструкцию и могут быть использованы как для исследовательских целей в различных областях нанотехнологии (микро- и наноэлектроника, нанофотоника, наноматериаловедение и пр.), так и для мелкосерийного производства наноструктур, наноэлементов и наноустройств.
Лабораторный комплекс для создания элементов наноэлектроники на основе локального анодного окисления
На базе универсального сканирующего зондового микроскопа Солвер-Про (АСМ, СТМ, диаметров образцов до 100мм). Оснащена системой подачи и контроля влажности, средствами in-situ измерения статических электрических характеристик на базе платы Lcard.
Использование технологии химического осаждения из газовой фазы в установке CVDomna позволяет получать углеродные нанотрубки как в виде материала, так и в составе структур микро- и наносистемной техники.
Предназначен для исследования текстурных характеристик дисперсных и порситых материалов, в том числе нанокомпозитов, катализаторов, сорбентов
Магнетронный испаритель металлов Emitech K575X.
Напыление ультратонких пленок Au, Pd, Cr, Ti, Ta, Ni и др. на подожки диаметром до 100 мм
Вакуумный испаритель углерода Emitech K950X
Электродуговое напыление тонких пленок углерода на подожки диаметром до 100 мм
Лабораторный комплекс для создания элементов наноэлектроники на основе углеродных нанотрубок
На базе универсального сканирующего зондового микроскопа Солвер-P47 (АСМ, СТМ). Оснащена зондовой установкой по измерению статических и динамических электрических характеристик элементов.
Лабораторный комплекс для проведения критических измерений
На базе универсального сканирующего зондового микроскопа Солвер-P47Н (АСМ, СТМ). Оснащена усовершенствованной системой акустической, вибрационной и электрической защиты.
Лабораторный комплекс для исследования и создания элементов наноэлектроники на различных структурах
На базе универсального сканирующего зондового микроскопа Солвер-P47Н (АСМ, СТМ). Оснащена системой активной виброзащиты. Позволяет проводить измерения на пластинах большого диаметра.
Класс учебных зондовых микроскопов Nanoeducator
Учебная лаборатория сканирующих зондовых микроскопов для изучения основ нанотехнологии.
«РИКОР-8» предназначен для фазового, структурного, элементного анализа кристаллических, поликристаллических и аморфных образцов. Уникальной особенностью является совмещение в одном приборе возможностей рентгеновского дифрактометра и рентгенофлуоресцентного спектрометра.
