Нанотехнологический комплекс НаноФаб 100

Нанотехнологические комплексы (НТК) семейства НаноФаб 100 имеют модульную конструкцию и могут быть использованы как для исследовательских целей в различных областях нанотехнологии (микро- и наноэлектроника, нанофотоника, наноматериаловедение и пр.), так и для мелкосерийного производства наноструктур, наноэлементов и наноустройств.

НТК Нанофаб состоит из трех основных модулей, соединенных единой транспортной вакуумной системой, позволяющей транспортировать между модулями пластины диаметром до 100 мм:

• модуль молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) для формирования гетрострукутр на основе GaN/AlGaN гетероструктур;
• модуль совмещенных фокусированного ионного пучка (ФИП) и сканирующего элеткронного микроскопа (СЭМ);
• модуль вакуумного атомно-силового микроскопа (АСМ).

Также в состав модуля входят камера прогрев пластин, камера высокотемпературного вакуумного отжига, камера загрузки и камера смены зондов АСМ. 

Модуль молекулярно-лучевой эпитаксии

 Основные параметры нитридного модуля МЛЭ (Изготовитель SemiTech).

Модуль фокусированного ионного пучка и сканирующего электронного микроскопа

 Основные параметры сверхвысоковакуумного модуля ФИП
(изготовитель колонки ФИП Orsay Physics)